Mikro- und Nanostrukturen: Herstellung und Anwendungen

Dass wir heute in einer Informationsgesellschaft leben, beruht auf den großen Erfolgen der Mikroelektronik, die dem Anspruch auf immer höhere Informationsdichte und Informationsverarbeitungsgeschwindigkeiten durch immer kleinere Abmessungen der Strukturen gerecht werden konnte. Für die nächsten Jahre sind Abmessungen unter 100 nm geplant: Eine bisher unbekannte Herausforderung an die Mikrostrukturierung und die Materialwissenschaften. Gleichzeitig bietet sich die Möglichkeit, neben der Mikroelektronik, ganz neue, komplette Systeme, bestehend aus Sensorik, Informationsverarbeitung und Aktorik – sog. Mikro- oder Nanosysteme –, zu realisieren. Über die prinzipiellen Probleme der Herstellung von Mikro- und Nanosystemen wird berichtet.